詳細情報

刊年

2020

別書名

ナノパターニングプロセスにより作製される三次元周期的ナノ構造のサイズ限界に関する研究

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2020年9月

注記

学位記番号: 修第8357号

学位授与年月日: 2020/09/30

学位の種類: 修士(工学)

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

Pongsakorn, Sihapitak

件名

Thermoelectric device

Proximity-field nanopatterning process

Three-dimensional nanostructure

RSOFT simulation

Phase shift mask