詳細情報

刊年

2015

別書名

フレキシブルディスプレイ実現に向けた非晶質酸化物薄膜トランジスタの高信頼性実現と低温プロセス

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2015年6月

注記

学位記番号: 博第1285号

報告番号: 甲第1285号

学位授与年月日: 2015/06/25

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 1241206

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

Bermundo Juan Paolo Soria

件名

Reliability

Amorphous IGZO

Passivation

Excimer Laser Annealing

Low Temperature Process

Polysilsesquioxane