リン オヨビ チッソ オ ゲート サンカマク ハンドウタイ カイメン ニ ドウニュウシタ シリコンカーバイド デンカイ コウカ トランジスタ ノ シキイチ デンアツ フアンテイセイ ニ カンスル コウサツ
金藤夏子
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2014.3
学位論文2014
A Study on Threshold Voltage Instability in SiC MOS Field-Effect Transistor with POCl3- and NO-Annealed Gate Oxides
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2014年3月
学位記番号: 修第6177号
学位授与年月日: 2014/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1231025
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
金藤, 夏子 (カナフジ, ナツコ)
