詳細情報

刊年

2013

別書名

高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの超低温作製と新規手法による電子物性評価

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2013年3月

注記

学位記番号: 博第1141号

学位授与年月日: 2013/3/22

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 1041016

標題言語

英語 (eng)

本文言語

英語 (eng)

著者情報

町田, 絵美 (マチダ, エミ)

件名

TFT

poly-Si

Laser annealing