町田絵美
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2013.3
1
R010036
2
禁帯出
R010083
2013
高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの超低温作製と新規手法による電子物性評価
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2013年3月
学位記番号: 博第1141号
学位授与年月日: 2013/3/22
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 1041016
英語 (eng)
町田, 絵美 (マチダ, エミ)
TFT
poly-Si
Laser annealing
TFTpoly-SiLaser annealing