リン ドウニュウ ニヨル サンカマク カーボンメン シリコン カーバイド カイメン ノ カイシツ ト デンカイ コウカ トランジスタ トクセイ ノ カイゼン
小竹慎也
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2011.3
学位論文2011
Improvement in electrical properties at SiO2/C-face 4H-SiC interface by phosphorus incorporation
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2011年3月
学位記番号: 修第5158号
学位授与年月日: 2011/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0931027
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
小竹, 慎也 (コタケ, シンヤ)
