Yuta Sugawara
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3
1
R007015
2
禁帯出
R007073
2009
レーザー結晶化による非二次元シリコン基板作製とその薄膜デバイス応用
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2009年3月
学位記番号: 博第858号
報告番号: 甲第858号
学位授与年月日: 2009/03/24
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 0641010
英語 (eng)
菅原, 祐太 (スガワラ, ユウタ)
thin film transistor
laser annealing crystallization
poly-Si
low-temperature process
thin film transistorlaser annealing crystallizationpoly-Silow-temperature process