アルミナ基板を用いたチタン酸バリウムストロンチウム薄膜の作製と誘電特性の評価

アルミナ基板を用いたチタン酸バリウムストロンチウム薄膜の作製と誘電特性の評価

アルミナ キバン オ モチイタ チタンサン バリウム ストロンチウム ハクマク ノ サクセイ ト ユウデン トクセイ ノ ヒョウカ

川上悠太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R006896

2

  • [MS]2009(4)

禁帯出

詳細情報

刊年

2009

別書名

The fabrication of the barium strontium titanate film on the alumina substrate and the evaluation of their dielectric properties

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2009年3月

注記

学位記番号: 修第4468号

学位授与年月日: 2009/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0731024

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

川上, 悠太 (カワカミ, ユウタ)

件名

誘電体

薄膜

BST

マイクロ波デバイス

アルミナ基板

スパッタリング法