ハンノウセイ イオンビーム エッチング ニ ヨル マイクロ ピラーガタ メン ハッコウ ハンドウタイ レーザ ノ サクセイ
一谷広樹
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3
学位論文2009
Micropillar-type vertical cavity surface emitting lasers fabricated by reactive ion beam etching
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2009年3月
学位記番号: 修第4452号
学位授与年月日: 2009/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0731007
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
一谷, 広樹 (イチタニ, ヒロキ)
