ゲンリョウ ガス カンケツ キョウキュウホウ オ モチイテ サクセイシタ ハクマク タケッショウ シリコン ノ ケッショウ ケッカン ヒョウカ ト コウヒンシツカ
大鐘章義
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2006.3
学位論文2006
Analysis and modification of polycrystalline silicon thin films' crystallographic properties deposited by intermittent source gas supply
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2006年3月
学位記番号: 修第3408号
授与年月日: 2006/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0431008
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
大鐘, 章義 (オオガネ, アキヨシ)
