エックスセン リソグラフィ ニ オケル マスク コウセイドカ ト レジスト パターン ケイセイ メカニズム ノ カイメイ
吉瀬幸司
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
1
禁帯出
R004757
2004
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 博第425号
報告番号: 甲第425号
授与年月日: 2004/03/24
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 0341008
日本語 (jpn)
吉瀬, 幸司 (キセ, コウジ)
X線リソグラフィ
マスク
光電子
オージェ電子
レジスト
高精度
X線リソグラフィマスク光電子オージェ電子レジスト高精度
