エックスセン リソグラフィ ニ オケル マスク パターン ケッカン ノ テンシャ トクセイ ト カイゾウセイ ノ コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ
渡邊寛
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
1
禁帯出
R004758
2004
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 博第426号
報告番号: 甲第426号
授与年月日: 2004/03/24
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 0341026
日本語 (jpn)
渡邊, 寛 (ワタナベ, ヒロシ)
リソグラフィ
パターン
レジスト
X線
マスク
欠陥
リソグラフィパターンレジストX線マスク欠陥
