プラズマ レイキ カッセイシュ オ モチイタ SiCジョウ ゲート ゼツエンマク ケイセイ ト カイメン デンシ ブッセイ ヒョウカ
丹羽孝仁
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
学位論文2004
Formation gate insulator on SiC by using plasma-activated species and their characterization
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 修第2754号
授与年月日: 2004/03/24
学生番号: 0231056
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
丹羽, 孝仁 (ニワ, タカヒト)
