窒素励起活性種を用いたシリコン及び極薄酸化膜の低温改質と電子物性評価

窒素励起活性種を用いたシリコン及び極薄酸化膜の低温改質と電子物性評価

チッソ レイキ カッセイシュ オ モチイタ シリコン オヨビ ゴクハク サンカマク ノ テイオン カイシツ ト デンシ ブッセイ ヒョウカ

小西康之

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2000.3

学位論文

巻号情報

全1件
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R001381

2

  • [MS]2000(8)

禁帯出

詳細情報

刊年

2000

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2000年3月

注記

学位記番号: 修第1394号

授与年月日: 2000/03/24

学生番号: 9831046

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

小西, 康之 (コニシ, ヤスユキ)