コウデンシ ジュヨウカク オ コウリョシタ ARXPS スペクトル カイセキ ニ ヨル スパッタ MoS2 ヒョウメン サンカソウ ノ フカサ ホウコウ ソセイ ブンセキ
甲斐田侑弥
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2022.3
学位論文2022
Depth profiling of surface oxide layer on sputtered MoS2 through quantitative analysis of ARXPS spectra considering effects of photoelectron acceptance angle
奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2022年3月
学位記番号: 修第8941号
学位授与年月日: 2022/03/31
学位の種類: 修士(工学)
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
甲斐田, 侑弥 (カイダ, ユウヤ)
