チャネリング RBS オ モチイタ イオン チュウニュウジ ノ ソンショウ ヒョウカ ノ ケンキュウ
東一平
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3
1
R003473
2
禁帯出
2005
Estimation of damage introduced by ion-implantation with channeling RBS
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月
学位記番号: 修第3149号
授与年月日: 2005/03/24
学生番号: 0331002
日本語 (jpn)
東, 一平 (アズマ, イッペイ)
チャネリング
イオン注入
損傷
RBS
阻止能
チャネリングイオン注入損傷RBS阻止能
