チャネリングRBSを用いたイオン注入時の損傷評価の研究

チャネリングRBSを用いたイオン注入時の損傷評価の研究

チャネリング RBS オ モチイタ イオン チュウニュウジ ノ ソンショウ ヒョウカ ノ ケンキュウ

東一平

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003473

2

  • [MS]2005(1)

Restricted

Details

Publication year

2005

Alternative title

Estimation of damage introduced by ion-implantation with channeling RBS

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月

Note

学位記番号: 修第3149号

授与年月日: 2005/03/24

学生番号: 0331002

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

東, 一平 (アズマ, イッペイ)

Subject

チャネリング

イオン注入

損傷

RBS

阻止能