トウメイ サンカブツ ハンドウタイ In-Ga-O エノ キャリア チュウニュウ
河村敏和
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2013.3
1
R009922
2
禁帯出
2013
Carrier Injection to Transparent Oxide Semiconductor In-Ga-O
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2013年3月
学位記番号: 修第5824号
学位授与年月日: 2013/3/22
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 1131024
日本語 (jpn)
河村, 敏和 (カワムラ, トシカズ)
p型半導体
透明酸化物半導体
キャリア注入
スパッタリング
ホール効果測定
透過率
p型半導体透明酸化物半導体キャリア注入スパッタリングホール効果測定透過率