次世代ディスプレイ実現に向けた酸化物半導体薄膜トランジスタの高性能化技術

次世代ディスプレイ実現に向けた酸化物半導体薄膜トランジスタの高性能化技術

ジセダイ ディスプレイ ジツゲン ニ ムケタ サンカブツ ハンドウタイ ハクマク トランジスタ ノ コウセイノウカ ギジュツ

藤井茉美

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

学位論文

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巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R009304

2

  • [MS]2012

禁帯出

詳細情報

刊年

2012

別書名

Approach for high performance technology of oxide semiconductor for next generation display

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2012年3月

注記

学位記番号: 博第1076号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0941017

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

藤井, 茉美 (フジイ, マミ)

件名

酸化物半導体

薄膜トランジスタ

信頼性

高性能化

エキシマレーザー

高圧水蒸気