自己組織化金属触媒による半導体薄膜の新規結晶化手法に関する研究, 要旨

自己組織化金属触媒による半導体薄膜の新規結晶化手法に関する研究, 要旨

ジコ ソシキカ キンゾク ショクバイ ニ ヨル ハンドウタイ ハクマク ノ シンキ ケッショウカ シュホウ ニ カンスル ケンキュウ

東條陽介

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

学位論文

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巻号情報

要旨
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • Abstract

R009347

詳細情報

刊年

2012

別書名

Novel Crystallization Method of Amorphous Semiconductor Thin Films by using Self-Assembled Metalic Catalyst

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2012年3月

注記

学位記番号: 博第1072号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0941012

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

東條, 陽介 (トウジョウ, ヨウスケ)

件名

Crystallization

Bio Nano Process

Self-Assembled Monolayer

Polycrystalline Silicon

Polycrystalline Germanium

Thin Films Transistor