エンソガス ネツ エッチングホウ オ モチイタ 4Hガタ タンカ ケイソ ノ ビサイ カコウ ト ソレ オ カツヨウシタ チョウテイソンシツ デンリョク セイギョ ソシ エノ オウヨウ
纐纈英典
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3
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1
R009303
2
禁帯出
2012
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2012年3月
学位記番号: 博第1069号
学位授与年月日: 2012/3/23
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 0941006
日本語 (jpn)
纐纈, 英典 (コウケツ, ヒデノリ)
炭化珪素
熱エッチング
塩素
異方性
パワーデバイス
微細加工
炭化珪素熱エッチング塩素異方性パワーデバイス微細加工
