ダンメン ソウサ トンネル ケンビキョウ カンサツ オ メザシタ Si(111) ウェハー ヘキカイ ダンメン サクセイ システム ノ カクリツ
立花和也
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3
学位論文2012
Development of a cross-sectional STM system for a thin film with an interface region on a Si wafer
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月
学位記番号: 修第5509号
学位授与年月日: 2012/3/23
学位の種類: 修士(理学)
学生番号: 1031050
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
立花, 和也 (タチバナ, カズヤ)
