高温フラッシュアニールによるサブバンド準位間隔への影響の解明

高温フラッシュアニールによるサブバンド準位間隔への影響の解明

コウオン フラッシュ アニール ニ ヨル サブ バンド ジュンイ カンカク エノ エイキョウ ノ カイメイ

坂田智裕

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2012.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R009215

2

  • [MS]2012(6)

Restricted

Details

Publication year

2012

Alternative title

effect of the flash annealing on the subband energy separation

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2012年3月

Note

学位記番号: 修第5496号

学位授与年月日: 2012/3/23

学位の種類: 修士(理学)

学生番号: 1031037

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

坂田, 智裕 (サカタ, トモヒロ)

Subject

フラッシュアニール

サブバンド

不純物

空間電化層

Si(111)