サンジゲン デバイス オウヨウ ニ ムケタ グリーン レーザー アニール ニヨル シリコン セキソウ ハクマク ノ ドウジ ケッショウカ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
山崎浩司
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2011.3
学位論文2011
Thin Film Transistors and Photo Diodes Fabricated on Double-Layered Polycrystalline Silicon Films Formed by Green Laser Annealing
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2011年3月
学位記番号: 修第5221号
学位授与年月日: 2011/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0931091
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
山崎, 浩司 (ヤマサキ, コウジ)