ダイヨウリョウ キョウユウデンタイ メモリ ノ ジツゲン ニ ムケタ ゲンシ レベル ヘイタン カ Pt エピタキシャル マク ノ サクセイ
旭健史郎
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2011.3
学位論文2011
Fabrication of atomically flat Pt epitaxial film for ferroelectric memory with large capacitance
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2011年3月
学位記番号: 修第5133号
学位授与年月日: 2011/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0931001
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
旭, 健史郎 (アサヒ, ケンシロウ)