ゲンシソウ タイセキホウ ニヨル サンカ アエン ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト デバイス オウヨウ
川村悠実
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2010.3
学位論文2010
Low-temperature preparation of ZnO thin films by atomic layer deposition for the application to electrical devices
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2010年3月
学位記番号: 修第4817号
学位授与年月日: 2010/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0831029
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
川村, 悠実 (カワムラ, ユミ)
