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ヒョウメン ゲンシ ノ カンサツ シュホウ ノ サイゼンセン
服部賢
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.10
授業アーカイブ半導体デバイスの微細化に伴い、その更なる性能向上を目指すには、原子レベルの精度での、基板表面上へのデバイス構築が必要とされています。この講座では、その表面原子の観察手法として用いられる様々な顕微鏡法や、元素の化学的な状態を測定する種々のエネルギー分光法などを紹介し、それらの展望やデバイス性能との関わりについて解説します。
| No. | 刷年 | 所在 | 請求記号 | 資料ID | 貸出区分 | 状況 | 予約人数 |
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M006425 |
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