無転位シリコンカーバイド結晶成長の研究, 平成22年度実績報告書

無転位シリコンカーバイド結晶成長の研究, 平成22年度実績報告書

ムテンイ シリコン カーバイド ケッショウ セイチョウ ノ ケンキュウ

研究代表者畑山智亮

[生駒] : [奈良先端科学技術大学院大学], 2008-2010

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Volume No.

平成22年度実績報告書
No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

  • KAKENJ

R008824

Details

Publication year

2008-2010

Alternative title

Research of dislocation-free silicon-carbide growth

科学研究費補助金実績報告書

科学研究費補助金(基盤研究(C))実績報告書

平成20年度科学研究費補助金(基盤研究(C))実績報告書

平成21年度科学研究費補助金(基盤研究(C))実績報告書

平成22年度科学研究費補助金(基盤研究(C))実績報告書

科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

平成20年度-平成22年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

Series title

科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書 ; 平成20-22年度

Note

課題番号: 20560301

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

畑山, 智亮 (ハタヤマ, トモアキ)

Subject

炭化珪素

シリコンカーバイド

転位

エッチング

半導体

Number

KAKEN : 20560301