アルミナセラミックス基板上に作製したマイクロ波可変容量(Ba,Sr)TiO3薄膜の高信頼性化に関する研究

アルミナセラミックス基板上に作製したマイクロ波可変容量(Ba,Sr)TiO3薄膜の高信頼性化に関する研究

アルミナ セラミックス キバンジョウ ニ サクセイシタ マイクロハ カヘン ヨウリョウ (Ba, Sr)TiO3 ハクマク ノ コウシンライセイカ ニ カンスル ケンキュウ

野坂隆

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3

学位論文

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巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R007020

2

  • [MS]2009

禁帯出

詳細情報

刊年

2009

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2009年3月

注記

学位記番号: 博第863号

報告番号: 甲第863号

学位授与年月日: 2009/03/24

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0641204

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

野坂, 隆 (ノザカ, タカシ)

件名

(Ba,Sr)TiO3薄膜

誘電体薄膜

強誘電体薄膜

マイクロ波チューナブルデバイス

電気伝導メカニズム

CSD法