スプレー CVD ホウ ニ ヨル SrTa2O6 ユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
林岳興
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3
学位論文2009
Fabrication and characterization of SrTa2O6 thin films by spray MOCVD
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2009年3月
学位記番号: 修第4537号
学位授与年月日: 2009/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0731098
日本語 (jpn)
日本語 (jpn)
林, 岳興 (リン, ガクコウ)
