液体供給MOCVD法を用いた3価元素添加SrZrO3薄膜の作製と評価

液体供給MOCVD法を用いた3価元素添加SrZrO3薄膜の作製と評価

エキタイ キョウキュウ MOCVDホウ オ モチイタ 3カ ゲンソ テンカ SrZrO3 ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ

坂入寛之

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R006908

2

  • [MS]2009(6)

禁帯出

詳細情報

刊年

2009

別書名

Fabrication and characterization of proton conductive M3+-doped SrZrO3 thin films deposited by liquid - delivery MOCVD

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2009年3月

注記

学位記番号: 修第4480号

学位授与年月日: 2009/03/24

学位の種類: 修士(工学)

学生番号: 0731037

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

坂入, 寛之 (サカイリ, ヒロユキ)

件名

SrZrO3

MOCVD

プロトン伝導体

燃料電池