エキタイ キョウキュウ MOCVDホウ ニ ヨル ルテニウムケイ サンカブツ ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
一瀬裕
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2009.3
1
R006879
2
禁帯出
2009
Fabrication and characterization of Ru-based oxide thin films by liquid-delivery MOCVD
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2009年3月
学位記番号: 修第4451号
学位授与年月日: 2009/03/24
学位の種類: 修士(工学)
学生番号: 0731006
日本語 (jpn)
一瀬, 裕 (イチセ, ヒロシ)
RuO2
MOCVD
FeRAM
SrRuO3
RuO2MOCVDFeRAMSrRuO3
