薄膜の基本技術

薄膜の基本技術

目次あり

ハクマク ノ キホン ギジュツ

金原粲著

第3版

東京 : 東京大学出版会, 2008.7

図書
内容紹介

カーボンナノチューブや青色発光ダイオードなど,いま話題の製品の材料は薄膜製作技術の成果である.現代の最先端技術を支える材料,薄膜の作り方や物性の測定などを基本から学べる定番テキスト.好評を博した第2版を全面改訂,演習問題も付加する.

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

図書館

  • 549.8
  • KIN

0051187

一般

詳細情報

刊年

2008

形態

xii, 227p ; 21cm

別書名

Introduction to fundamental thin film technologies

注記

欧文タイトルは標題紙裏による

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

金原, 粲(1933-) (キンバラ, アキラ)

分類

NDC8:549.8

NDC9:549.8

件名

薄膜

ISBN

9784130628402

NCID

BA86623394

番号

TRC : 08038551