液体供給気化MOCVD法による強誘電体PZT薄膜の作製に関する研究, 要旨

液体供給気化MOCVD法による強誘電体PZT薄膜の作製に関する研究, 要旨

エキタイ キョウキュウ キカ MOCVD ホウ ニ ヨル キョウユウデンタイ PZT ハクマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ

三宅雅人

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2003.9

学位論文

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巻号情報

要旨
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • Abstract

R004681

詳細情報

刊年

2003

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2003年9月

注記

学位記番号: 博第349号

報告番号: 甲第349号

授与年月日: 2003/09/30

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0041024

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

三宅, 雅人 (ミヤケ, マサト)