微細ミスト堆積法の開発とその強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製への応用に関する研究, 要旨

微細ミスト堆積法の開発とその強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜の作製への応用に関する研究, 要旨

ビサイ ミスト タイセキホウ ノ カイハツ トソノ キョウユウ デンタイ Pb Zr,Ti O3 ハクマク ノ サクセイ エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ

河﨑晋

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

学位論文

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巻号情報

要旨
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • Abstract

R004829

詳細情報

刊年

2005

別書名

Fabrication of Ferroelectric Pb(Zr, Ti)O3 Thin Film by Refined Mist Deposition

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2005年3月

注記

学位記番号: 博第497号

報告番号: 甲第497号

授与年月日: 2005/03/24

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0241005

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

河崎, 晋 (カワサキ, ススム)

件名

ミスト堆積法

リファイナー

段差被覆性

強誘電体

薄膜