ビサイ ミスト タイセキホウ ノ カイハツ トソノ キョウユウ デンタイ Pb Zr,Ti O3 ハクマク ノ サクセイ エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ
河﨑晋
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3
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1
R003625
2
禁帯出
2005
Fabrication of Ferroelectric Pb(Zr, Ti)O3 Thin Film by Refined Mist Deposition
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2005年3月
学位記番号: 博第497号
報告番号: 甲第497号
授与年月日: 2005/03/24
学位の種類: 博士(工学)
学生番号: 0241005
日本語 (jpn)
河崎, 晋 (カワサキ, ススム)
ミスト堆積法
リファイナー
段差被覆性
強誘電体
薄膜
ミスト堆積法リファイナー段差被覆性強誘電体薄膜