Si 001 ヒョウメン ノ ショキ サンソ キュウチャク カテイ
和田光世
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3
1
R003506
2
禁帯出
2005
Initial stages of Oxidation on Si(001) surface
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月
学位記番号: 修第3061号
授与年月日: 2005/03/24
学生番号: 0231093
日本語 (jpn)
和田, 光世 (ワダ, テルヨ)
Si(001)
表面
酸素
吸着
初期酸化
Si(001)表面酸素吸着初期酸化
