白金下部電極上にMOCVD成膜するPb(Zr,Ti)O3薄膜の配向制御に関する研究

白金下部電極上にMOCVD成膜するPb(Zr,Ti)O3薄膜の配向制御に関する研究

ハッキン カブ デンキョクジョウ ニ MOCVD セイマク スル Pb Zr,Ti 03 ハクマク ノ ハイコウ セイギョ ニカンスル ケンキュウ

中村仁宗

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R003491

2

  • [MS]2005(12)

禁帯出

詳細情報

刊年

2005

別書名

Orientation control of Pb(Zr,Ti)O3 thin films deposited on Pt bottom electrodes by MOCVD

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月

注記

学位記番号: 修第3114号

授与年月日: 2005/03/24

学生番号: 0331059

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

中村, 仁宗 (ナカムラ, キミトシ)

件名

orientation control

Pb(Zr,Ti)O3

thin film

MOCVD

PbPt alloy

hillock