白金下部電極上にMOCVD成膜するPb(Zr,Ti)O3薄膜の配向制御に関する研究

白金下部電極上にMOCVD成膜するPb(Zr,Ti)O3薄膜の配向制御に関する研究

ハッキン カブ デンキョクジョウ ニ MOCVD セイマク スル Pb Zr,Ti 03 ハクマク ノ ハイコウ セイギョ ニカンスル ケンキュウ

中村仁宗

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003491

2

  • [MS]2005(12)

Restricted

Details

Publication year

2005

Alternative title

Orientation control of Pb(Zr,Ti)O3 thin films deposited on Pt bottom electrodes by MOCVD

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月

Note

学位記番号: 修第3114号

授与年月日: 2005/03/24

学生番号: 0331059

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

中村, 仁宗 (ナカムラ, キミトシ)

Subject

orientation control

Pb(Zr,Ti)O3

thin film

MOCVD

PbPt alloy

hillock