PBII(Plasma Based Ion Implantation)により作製したDLC薄膜の物性に及ぼす熱処理の影響

PBII(Plasma Based Ion Implantation)により作製したDLC薄膜の物性に及ぼす熱処理の影響

ピービーアイアイプラズマ ベースド イオン インプランテイションニヨリサクセイシタディーエルシーハクマクノブッセイニオヨボスネツショリノエイキョウ

勝丸慎介

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R003481

2

  • [MS]2005(4)

禁帯出

詳細情報

刊年

2005

別書名

Influence of heat treatments on the mechanical properties of DLC thin films made by PBII(Plasma based ion implantation)

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月

注記

学位記番号: 修第3075号

授与年月日: 2005/03/24

学生番号: 0331017

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

勝丸, 慎介 (カツマル, シンスケ)

件名

DLC

PBII

耐熱性

Si

DTA

ラマン