PBII(Plasma Based Ion Implantation)により作製したDLC薄膜の物性に及ぼす熱処理の影響

PBII(Plasma Based Ion Implantation)により作製したDLC薄膜の物性に及ぼす熱処理の影響

ピービーアイアイプラズマ ベースド イオン インプランテイションニヨリサクセイシタディーエルシーハクマクノブッセイニオヨボスネツショリノエイキョウ

勝丸慎介

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2005.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003481

2

  • [MS]2005(4)

Restricted

Details

Publication year

2005

Alternative title

Influence of heat treatments on the mechanical properties of DLC thin films made by PBII(Plasma based ion implantation)

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2005年3月

Note

学位記番号: 修第3075号

授与年月日: 2005/03/24

学生番号: 0331017

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

勝丸, 慎介 (カツマル, シンスケ)

Subject

DLC

PBII

耐熱性

Si

DTA

ラマン