シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究, 要旨

シリコン集積回路素子微細化のための浅い接合形成技術の研究, 要旨

シリコン シュウセキ カイロ ソシ ビサイカ ノタメノ アサイ セツゴウ ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ

獅子口清一

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2003.9

学位論文

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巻号情報

要旨
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • Abstract

R004678

詳細情報

刊年

2003

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科博士論文 ; 2003年9月

注記

学位記番号: 博第346号

報告番号: 甲第346号

授与年月日: 2003/09/30

学位の種類: 博士(工学)

学生番号: 0241202

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

獅子口, 清一 (シシグチ, セイイチ)