FIB カコウ サレタ キョウユウデンタイ PZT ビサイ キャパシタ ノ ソンショウ ト カイフク ニ カンスル ケンキュウ
前田賢一
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3
1
R003118
2
禁帯出
2004
A study of the damage and recovery of ferroelectric PZT submicron capacitors fabricated by FIB milling
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月
学位記番号: 修第2770号
授与年月日: 2004/03/24
学生番号: 0231073
日本語 (jpn)
前田, 賢一 (マエダ, ケンイチ)
FIB
強誘電体
微細
PZT
損傷
回復
FIB強誘電体微細PZT損傷回復
