微小電極を用いた半導体表面電気伝導度のin situ測定

微小電極を用いた半導体表面電気伝導度のin situ測定

ビショウ デンキョク オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメン デンキ デンドウド ノ in situ ソクテイ

赤田修一

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2004.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R003054

2

  • [MS]2004(1)

Restricted

Details

Publication year

2004

Alternative title

Semiconductor surface electrical conduction in situ measurements using microelectrod

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2004年3月

Note

学位記番号: 修第2706号

授与年月日: 2004/03/24

学生番号: 0231002

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

赤田, 修一 (アカダ, シュウイチ)

Subject

表面電気伝導度

4端子電極

in situ測定