強誘電体薄膜のFIB微細加工と微小領域特性の評価

強誘電体薄膜のFIB微細加工と微小領域特性の評価

キョウユウデンタイ ハクマク ノ FIB ビサイ カコウ ト ビショウ リョウイキ トクセイ ノ ヒョウカ

磯部孝

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2002.3

Thesis / Diss.

Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R002289

2

  • [MS]2002(2)

Restricted

Details

Publication year

2002

Series title

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2002年3月

Note

学位記番号: 修第2032号

授与年月日: 2002/03/22

学生番号: 0031008

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

磯部, 孝 (イソベ, タカシ)