リモート プラズマホウ ヲ モチイタ サンソ カッセイシュ ニ ヨル シリコン カーバイド ノ テイオン サンカ ト カイメン デンシ ブッセイ
酒井浩一
生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2001.3
1
R001917
2
禁帯出
2001
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科修士論文 ; 2001年3月
学位記番号: 修第1735号
授与年月日: 2001/03/23
学生番号: 9931031
日本語 (jpn)
酒井, 浩一 (サカイ, コウイチ)
