非晶質酸化物半導体における信頼性解析と三次元集積デバイス応用に向けた機能性の開拓, 要旨

非晶質酸化物半導体における信頼性解析と三次元集積デバイス応用に向けた機能性の開拓, 要旨

ヒショウシツ サンカブツ ハンドウタイ ニ オケル シンライセイ カイセキ ト サンジゲン シュウセキ デバイス オウヨウ 二 ムケタ キノウセイ ノ カイタク

髙橋崇典

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3

学位論文

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巻号情報

要旨
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • Abstract

R018415

詳細情報

刊年

2023

別書名

Reliability analysis and functionalization toward 3D integrated devices for amorphous oxide semiconductors

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2023年3月

注記

学位記番号: 博第1971号

報告番号: 甲第1971号

学位授与年月日: 2023/03/31

学位の種類: 博士(工学)

博士論文公表延期中のため、本文に代えて要約を公表中

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

髙橋, 崇典 (タカハシ, タカノリ)

件名

非晶質酸化物

半導体

三次元集積デバイス