AlGeペーストを用いたSi基板上へのSiGeの結晶成長に関する研究, 要旨

AlGeペーストを用いたSi基板上へのSiGeの結晶成長に関する研究, 要旨

AlGe ペースト オ モチイタ Si キバンジョウ エノ SiGe ノ ケッショウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ

鈴木紹太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3

学位論文

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巻号情報

要旨
No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

  • Abstract

R018413

詳細情報

刊年

2023

別書名

Research on SiGe crystal growth on Si substrate using AlGe paste

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2023年3月

注記

学位記番号: 博第1970号

報告番号: 甲第1970号

学位授与年月日: 2023/03/31

学位の種類: 博士(工学)

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

鈴木, 紹太 (スズキ, ショウタ)

件名

SiGe

液相成長

AlGe

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