AlGeペーストを用いたSi基板上へのSiGeの結晶成長に関する研究

AlGeペーストを用いたSi基板上へのSiGeの結晶成長に関する研究

AlGe ペースト オ モチイタ Si キバンジョウ エノ SiGe ノ ケッショウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ

鈴木紹太

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2023.3

Thesis / Diss.

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Volume No.

No. Printing year Location Call Number Material ID Circulation class Status Waiting

1

R018351

Details

Publication year

2023

Alternative title

Research on SiGe crystal growth on Si substrate using AlGe paste

Series title

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科博士論文 ; 2023年3月

Note

学位記番号: 博第1970号

報告番号: 甲第1970号

学位授与年月日: 2023/03/31

学位の種類: 博士(工学)

Country of publication

Japan

Title language

Japanese (jpn)

Language of texts

Japanese (jpn)

Author information

鈴木, 紹太 (スズキ, ショウタ)

Subject

SiGe

液相成長

AlGe

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