自己組織化プロセス技術

自己組織化プロセス技術

ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ

村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編

東京 : 培風館, 1999.7

図書

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

図書館

  • 501.4
  • ELE
  • 20

9301165

一般

詳細情報

刊年

1999

形態

x, 307p ; 22cm

シリーズ名

アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 [エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20]

注記

参考文献: 各章末

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

村田, 好正(1935-) (ムラタ, ヨシタダ) [ Murata, Yoshitada ]

尾関, 雅志 (オゼキ, マサシ) [ Ozeki, Masashi ]

野崎, 眞次 (ノザキ, シンジ)

分類

NDC8:549.8

NDC9:549.8

NDLC:ND371

件名

半導体

半導体

ISBN

456303620X

NCID

BA4214337X

番号

NBN : JP99111163

JLA : 99029435