ファセット表面をもつ立体シリコンライン構造の作製・制御技術

ファセット表面をもつ立体シリコンライン構造の作製・制御技術

ファセット ヒョウメン オ モツ リッタイ シリコンライン コウゾウ ノ サクセイ セイギョ ギジュツ

阪井雄也

生駒 : 奈良先端科学技術大学院大学, 2022.3

学位論文

巻号情報

No. 刷年 所在 請求記号 資料ID 貸出区分 状況 予約人数

1

R017895

詳細情報

刊年

2022

別書名

The fabrication and control method of three-dimensional Si facet line structure

シリーズ名

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科修士論文 ; 2022年3月

注記

学位記番号: 修第8925号

学位授与年月日: 2022/03/31

学位の種類: 修士(理学)

標題言語

日本語 (jpn)

本文言語

日本語 (jpn)

著者情報

阪井, 雄也 (サカイ, ユウヤ)

件名

立体Si

ナノテクノロジー

立体表面

低速電子線回折

角度分解光電子分光